Silikon tetraklorida atau tetraklorosilana adalah senyawa anorganik dengan rumus SiCl4. Senyawa ini merupakan senyawa cair yang volatil yang mengeluarkan asap di udara. Senyawa ini digunakan untuk menghasilkan silikon dengan tingkat kemurnian yang tinggi.

Pembuatan 
Silikon tetraklorida dibuat dengan mengklorinasi beberapa senyawa silikon, seperti ferosilikon, silikon karbida, atau campuran silikon dioksida dengan karbon. Metode ferosilikon adalah yang paling sering digunakan.

Di laboratorium, SiCl4 dapat dibuat dari reaksi silikon dengan klorin:
Si + 2 Cl2 → SiCl4

Reaksi 
Seperti klorosilana lainnya, silikon tetraklorida mudah  bereaksi dengan air:
SiCl4 + 2 H2O → SiO2 + 4 HCl

Jika bereaksi dengan alkohol dan etanol, hasilnya adalah tetrametil ortosilikat dan tetraetil ortosilikat:
SiCl4 + 4 ROH → Si(OR)4 + 4 HCl

Referensi 

Klorida