Nitrogen trifluorida adalah senyawa anorganik dengan rumus NF3.  Senyawa nitrogen-fluor ini adalah gas tak berwarna, tak berbau, tidak mudah terbakar. Penggunaannya sebagai etchant dalam mikroelektronika ditemukan meningkat.

Referensi

Pranala luar 
 
 WebBook page for NF3
 CDC - NIOSH Pocket Guide to Chemical Hazards

Amina anorganik
Nitrogen fluorida
Gas rumah kaca
Gas industri