abstract: Предложена методика моделирования базовых процессов формирования микроструктур с использованием метода вероятностных клеточных автоматов. Разработан программный комплекс, реализующий данную методику. Приведены примеры моделирования комплексных процессов при наличии на поверхности подложки дефектов различных типов.
keywords: микроструктуры, формирование микроструктур, клеточные автоматы