1911 yılında Nallıhan´a gelen bir Fransız mühendisin nezaretinde yıkılan eski caminin yerinde, aynı genişlikte ve bugünkü şekliyle yeniden yapılmıştır. Cami dikdörtgen planlı, düzgün kesme taştan üstü ahşap çatılı ve alaturka kiremitli olarak inşa edilmiştir. Kuzeyde birbirine kemerlerle bağlanan sekiz adet kare sütunlu, iki yanı ve önü açık, üstü ahşap çatıyla örtülü son cemaat mahalli yer almaktadır. Son cemaat yerinden hareme geçişi sağlayan kapı, kilit taşı çıkıntılı ve dairevi kemerlidir. İbadet mekanını ortası göbekli ahşap tavan örtmektedir. Mahfeli dört köşeli iki taş sütun üstünde ahşaptandır. Cami toplam dokuz adet sivri kemerli pencere ile aydınlatılmaktadır. Mihrabın kenarları kademeli, sivriye yakın dairevi kemerli ve basit kornişlidir. Minber kesme taştan, minberin korkuluğu ise ahşaptan ve basittir. Caminin batı duvarına bitişik minare kesme taştan, kaidesi kare planlı, gövdesi oniki köşelidir. Şerefe altı dorik başlığı taştan, külah ise saç kaplıdır.
Cami avlusunun batı tarafında, 20.asrın başı olarak tarihlenen, üstü alaturka kiremitli basit çatılı bir türbe vardır. İçinde iki büyük dört küçük kabir vardır.