M Serisi en küçük x-ışını spot boyutları için yüksek performansta son noktadır. M Serisindeki poli-kılcal optiği O Serisine göre , x-ışını 15μm FWHM'ye odaklamak konusunda çok daha fazla geliştirilmiştir. Bu ölçekte özellikleri ölçmek için, bir 150x büyütme kamerası dahil edilmiştir. Görüş alanı daha yüksek büyütme oranı ile daha sınırlı hale gelir, böylece ikinci bir kamera ölçülecek kısmın makro görüntüsünü alır. İkili kamera sistemi, operatörlerin tüm parçayı görmesini, yüksek mag kamera ile yakınlaştırmak için resmi tıklatmasını ve ölçülecek özelliği belirlemesini sağlar.
Yüksek hassasiyetli programlanabilir XY tablası, çoklu noktaları seçmek ve ölçmek için kullanılabilir; Örüntü tanıma yazılımı da bunu otomatik olarak yapabilir. Silikon katman gibi bir bölümün yüzey alanı üzerine kaplamanın topografisini görmek için kullanılabilecek bir 2-D haritalama sistemi bulunmaktadır.
Standart konfigürasyon, 15μm Optics ve daha yüksek sayım hızlarını işlemek için yüksek çözünürlüklü bir SDD dedektörü içerir. Bir mikro / makro kamera sistemi, 150x büyütme ve daha yüksek dijital zoom özelliklerine sahip bir kameraya sahiptir. Programlanabilir bir XY numune tablası da standarttır. Optik sistemi yakın bir odak uzaklığına sahiptir, bu nedenle M Serisi ile ölçülen numunelerin düz olması gerekir.