-
açılımı litho-freeze-litho-etch olan, asml tarafından geliştirilen ve tasraımın boyutlarını küçültmeden mikroçip üzerindeki transistör yoğunluğunu arttırarak performansı yükselten bir baskı devre tekniği. silikon diliminin üzerine birincil devrenin işlenmesinin ardından yakma işlemi yapılmadan kalan boşluklara ikinci bir devreyi işleyip son olarak ikisinide aynı anda slikona geçirmeye dayanan bir yöntemdir.
(bkz: lele)