Termal gaz kütle akış ölçerler, termal difüzyon prensibini kullanarak gaz akışını ölçen cihazlardır.Sensör, iki referans seviyesi termal dirençten (RTD'ler) oluşur.Bunlardan biri RH hız sensörü, diğeri ise gazın sıcaklık değişimini ölçen sıcaklık sensörü RMG'dir.Bu iki RTD ölçülen gaza yerleştirildiğinde, RH sensörü ısıtılır ve diğer sensör RMG ölçülen gazın sıcaklığını algılamak için kullanılır.Gaz akış hızı arttıkça, hava akışı daha fazla ısıyı alır ve RH sensörünün sıcaklığı düşer.