Potansiyel
Plazma tanım gereği uyarılmış bir gazdır ve elektronlar, iyonlar, radikaller ve nötr parçacıklar gibi kısa ömürlü türlerin bir karışımını içerir. Elektrostatik deşarja (ESD) duyarlı bileşenler plazma işlemine maruz kalırsa yüklü türler sorun oluşturur. Özellikle yüklü türler kısa bir ömre sahip olduklarından ve radikallerle ve sonuçta reaktif oksit ve oksijen türleriyle (RONS) yeniden birleştiklerinden, plazma alevi zamanla ve mesafeye bağlı olarak yükünü kaybeder (Şekil 1).
Şekil 1.Farklı plazma türlerine genel bakış (Yukarıdan aşağıya: Basınçlı kuru hava, elektrik arkı, [merkezden dışarıya: Fotonlar, UV elektronlar, iyonlar, radikaller, yarı kararlı partiküller, RONS], mesafe / zaman, ikincil plazma)
Nötr türlerden oluşan ikincil plazma bile ince temizleme ve yüzey aktivasyonu etkisi oluşturur. Bu etki, plazmanın özelliklerini, ESD'ye duyarlı bileşenler için uygulanabilen, düşük potansiyelli bir plazma işlemine ayarlamak için kullanılabilir. Elektrik arkı ile işlenen yüzey arasındaki mesafeyi artırarak, düşük potansiyelli bir plazma oluşturmak için yüklü türlerin kısa ömründen yararlanılır. Bu etki, nozul geometrisini ayarlayarak elde edilebilir.
Şekil 2.. A450 ve A250 nozulların karşılaştırılması
A450 nozul yüksek hızlar için tasarlanmıştır, bu nedenle kısa ömürlü türlerin çok yüksek bir konsantrasyonu arzu edilir. Bunun dezavantajı, ESD'ye duyarlı bileşenlerin hasar görmesidir. Öte yandan, A250 nozulunda elektrik arkı tamamen nozul tarafından çevrelenmiştir. Ayrıca, uzun çıkış kanalı aracılığıyla, elektrik arkı ile yüzey arasındaki mesafe daha da kaydırılmış durumdadır. Bu, aktif elektronik bileşenlerin doğrudan işlenmesine dahi izin veren düşük potansiyelli bir plazma ile sonuçlanır.
Sayfa içeriği relyon plasma GmbH tarafından sağlanmıştır. / Page content provided by relyon plasma GmbH.