Valfler
İki ya da üç yollu küresel vanalar; vakum dağıtımı ve durdurma için kullanılırlar.
Çekvalf
Yatay yataklı ya da dik yaylı çekvalfler vakum döngüsü içinde kilitleme fonksiyonuna sahiptirler.
Otomatik Yön Valfi
Özel tek yönlü valflerdir. Vantuzlara monte edilirler. Herhangi bir sızıntı ya da vantuzların hatalı kavraması durumunda ya da sistemde emiş için herhangi bir madde yok ise otomatik olarak kapanırlar ve böylece vantuzlar üzerinde kalan vakum derecesinin düşmesini önlerler.
İkili/Üçlü Elektrovalfler
Sık çalışan döngüler içindir