Search
Now showing items 1-1 of 1
Vanadyum oksit ince film akıllı malzemelerin üretim sürecinin elektriksel-yapısal özellik ilişkisine etkisinin incelenmesi
(2018)
Bu çalışmada, SiO2 ve Si3N4 alttaş üzerinde farklı görev döngüsü değerlerinde üretilen Vanadyum Oksit (VOx) ince filmlerin elektriksel ve yapısal özelliklerine odaklanılmıştır. VOx ince filmleri vurmalı DC reaktif magnetron ...